沈宁玉顺着梁仲华指的方向看去,郑国栋正端着保温杯,用挑剔的目光打量着实验楼略显陈旧的外墙。
“咱们这个微米级光刻机光源与对准项目,原本沪市光机所也打了报告想争过去,结果部委最后批给了咱们青山大学,老郑心里一直憋着口气呢,待会儿进了实验室,你可千万沉住气。”梁仲华小声叮嘱道。
“梁教授,您放心,咱们的数据绝对让对方心服口服。”沈宁玉点点头应下。
一行人簇拥着部委领导和专家组走进实验室,原本宽敞的实验室里一下子挤满了二十多号人。
梁仲华走到主控台前,翻开准备好的阶段汇报材料:“各位领导,各位专家,经过我们课题组一年多的不懈研究,目前光刻机紫外光源的功率稳定性,以及双频激光干涉对准系统的定位精度,已经全部达到了部委下达的二微米以内的阶段指标,下面由我的学生助手沈宁玉同志,为大家进行现场开机演示。”
站在前排的郑国栋拧开保温杯喝了一口茶,抬手打断了梁仲华的话:“老梁啊,演示之前,我有几个问题想先问问。”
梁仲华脸上堆起笑容:“老郑,有话你尽管直说。”
郑国栋转过身,目光越过人群,落在了沈宁玉身上:“我在来川城的火车上,仔细翻看了你们交上来的技术报告,上面写着,这套折射率归一化补偿算法,还有局部热漂移控制模型,全是由一位大二本科生独立主导完成的?”
“对,全部是沈宁玉同志独立推导编写的,我这个老头子在里面也就是打打下手。”梁仲华语气里带着几分自豪。
“胡闹!”郑国栋把保温杯重重墩在旁边的金属实验台上,眉头拧成了一个川字:“老梁,搞国家级尖端科研项目,那是要严谨求实的!一个大二的学生,连高等光学和热力学偏微分方程都没学透,你跟我说她解决了连我们沪市光机所都头疼的热相位发散问题?你们青山大学为了争后续的十万块专项经费,也不用这么拔苗助长,搞虚头巴脑的噱头吧?”
实验室里的气氛骤然冷了下来,随行的几名沪市光机所研究员也跟着低声议论起来,看向沈宁玉的眼神里满是不屑。
许仲衡校长的脸色沉了下来,刚要开口反驳,沈宁玉却往前迈了一步,挡在了两位老教授身前。
“郑所长,高等光学和热力学偏微分方程我学没学透,您可以现场出题考我,至于这套算法是不是噱头,机器就摆在您面前,真金不怕火来炼,你炼一炼就知道了。”沈宁玉不卑不亢的看着郑国栋。
“你这小同志口气倒是不小,那咱们今天就按实战标准来炼一炼!”郑国栋冷哼一声,伸手指了指实验室顶部的通风管道:“你们之前的七天连续测试,都是在二十度恒温环境下跑出来的吧?但将来这台光刻机到了电子厂的芯片生产车间,南北方冬天和夏天的天气差异先不说,就车间环境温度根本不可能做到绝对恒定!”
他竖起一根手指,声音提高了八度:“今天我不看你们的常规演示,把实验室的空调全关了,搬四台大功率工业电热扇进来,再把窗户打开一半,让室内的环境温差在三个小时内拉大到十度以上!在这种剧烈温差波动下,如果你们的对准精度还能保持在二微米以内,我郑国栋今天当场给你鞠躬道歉!”
“十度温差?!”梁仲华脸色大变,急忙上前一步争辩道:“老郑,你这完全是强人所难!国际上同类光刻机设备的测试标准,环境温差要求都是控制在正负一度以内,十度的剧烈温差,光学镜片和金属导轨都会发生严重的热胀冷缩,这怎么可能测得出二微米的精度?!”
“老梁,咱们国家现在的工业基础薄弱,下面的红星电子厂连无尘车间都是拿塑料布搭的,更别提什么恒温恒湿空调了!”郑国栋背着手,下巴微扬:“如果你们的设备只能在温室里当花瓶,一到恶劣环境就成了瞎子,那部委后续这十万块钱的专项拨款,我看还是趁早转拨给我们沪市光机所,免得浪费国家的科研经费!”
“你你这就是故意刁难!”梁仲华气的胡子直抖,转头看向国防科工委的刘司长:“刘司长,验收大纲上可没有十度温差测试这一条啊!”
刘司长夹着烟,看了一眼郑国栋,又看了看梁仲华,面露难色:“老梁啊,郑副所长说的也是实际情况,前阵子下属几个半导体厂确实反映过国产设备适应性差的问题,你看这”
实验室里青山大学的师生们全都攥紧了拳头,新来的几名研究员更是急的满头大汗,十度温差下的热漂移,足足是常规状态的十倍以上,这根本就是个不可能完成的任务。
“梁教授,刘司长,这个测试我们接了。”
清脆的声音在嘈杂的实验室里响起,沈宁玉走到主控台前,伸手按下了主机电源开关。
“宁玉!你别冲动!”梁仲华急的去拉她的袖子,压低声音道:“