了旋转,这也意味著这一步已经完成了。
在这片晶圆片上已经覆上了一层肉眼几乎不可见的光刻胶。
隨即又送入到了前烘机当中进行软烤,去除光刻胶当中的溶剂,以便於下一步。
从这里就可以看出想要生產pn结型电晶体有多么复杂了。
接下来便是將这片处理好的晶圆片送入接触式光刻机当中进行最关键的製造。
接触式光刻机的原理就是將绘製了电路图案的掩膜版与涂有光刻胶的硅片表面紧密接触。
然后再用高压汞灯进行照射,光线就会透过掩膜版的透明部分,使相对应的区域的光刻胶发生化学反应。
这也是光刻机加工的第一步。
在完成了这一步后还需要进行显影。
就是將曝光过的晶圆片浸入特定的化学显影液当中。
对於正性光刻胶,被光照过的区域会被溶解掉,从而在光刻胶上精確地复製出掩模版的图案,暴露出其下方的二氧化硅层。
到了这一步的时候光刻机的加工就已经完成了。
看到这个已经被刻上了图案的晶圆片,所有人心中都鬆了一口气。
因为最关键的一步已经完成了。
接下来就到了蚀刻机派上用场的时候了。
它的作用就是將没有光刻胶保护的二氧化硅区域腐蚀掉,之后,用强酸的方式將剩余的光刻胶完全去除,最终得到结构清晰的二氧化硅掩蔽层。
然后就是用扩散法进行掺杂,在n型晶圆片衬底上形成p型区,从而构成pn节,这就是pn结型电晶体的由来。
到了这一步还没有结束,接下来还需要进行蒸发和金属化。
用蒸发台通过热蒸发沉积金属电极,形成电晶体的接触点。
然后再用电镀设备形成金属连接。
最后一步就是封装了。
用密封机將电晶体封装到外壳当中,並提供保护和引脚的连接。
这就是整个pn结型电晶体的加工过程。
从沙子到成型,一共需要经歷超过百道工序。
这一幕也让秦风看的紧张不已。
一直到看到成品之后,悬著的心才算落了一半。
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